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에스엔텍, 반도체 공정진단 시스템 사업 초읽기

기사입력 2019-05-17 09:04


에스엔텍의 '반도체 공정진단 시스템(이하 SoW, Sensor on Wafer)' 사업이 본 궤도에 오르고 있다.
에스엔텍은 SoW 양산을 위해 최근 시화공단 입주계약을 체결했다고 17일 밝혔다.
에스엔텍은 해당 공장에 대한 환경 인허가 승인 획득 후, 양산 준비 공사 및 국내외 주요 고객사 테스트를 거쳐 가을께부터 양산을 시작한다는 계획이다.
SoW는 웨이퍼 형태로 챔버 내 온도 및 플라즈마 상태를 실시간으로 측정하는 센서다. 반도체 미세공정화로 제조공정상의 정밀 진단·제어 시스템 수요가 확대됨에 따라 시장 성장이 기대되는 소모성 아이템이다.
에스엔텍 관계자는 "SoW는 기존 장비사업 위주의 사업구조를 보완하기 위한 부품·소재사업 육성의 일환으로 오랜 기간 준비해 온 아이템 가운데 하나"라며 "글로벌 독점 구도를 해소함으로써 반도체 전공정 진단·제어 시스템의 국산화에 적게나마 기여하고자 한다"고 말했다.
이 관계자는 또 "SoW 사업을 발판으로 향후 시장 확대 가능성이 큰 정밀공정 진단·제어 시스템의 다양한 응용 분야를 장기적으로 개척할 방침"이라고 설명했다.
한편 에스엔텍은 최근 '플라즈마 측정용 웨이퍼' 4건에 대한 PCT(특허협력조약: Patent Cooperation Treaty) 국제출원을 마쳤다. PCT 국제출원은 다수의 PCT 가입국을 상대로 국제출원

일을 인정받음으로써 선(先)출원에 대한 우선권을 인정받을 수 있는 제도다.
한편 에스엔텍은 지난 2017년 4월 산업통상자원부가 주관하는 '실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 시스템 개발' 국책과제에 선정돼 연구개발을 진행해오고 있다.
[디지털뉴스국 김경택 기자]

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